国产刻蚀设备-Mattson篇

2019年4月27日14:56:53国产刻蚀设备-Mattson篇已关闭评论 195 views

一、中国半导体市场

2017 年全球半导体设备总市场规模约为 559 亿美元,同比增长37.5%,而 2018 年市场规模为 601 亿美元,同比增长 8%,总体保持稳定增长。 2017 年中国半导体设备总规模为 75.9 亿美元,同比增长 17%。占全球半导体设备销售额的13.6%,位居全球半导体设备市场的第三位。

2018 年市场规模为 113.3 亿美元,同比增长 49%,中国大陆将是全球增速最快的市场。预计2018年中国大陆将超过中国台湾地区居全球半导体投资的第二位。

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图1 全球/中国半导体市场规模

2017年中国大陆半导体设备占比的前三名分别为化学气相沉积设备(CVD),刻蚀/清洗设备,引线建合机设备。分别占比23%,18%,12%。其余占比较大的为氧化扩散设备,步进式光刻设备和物理气相沉积设备(PVD)。

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图2 中国半导体设备市场分类占比

2017年中国大陆半导体设备制造商(电子专用设备协会共统计36家,没有包含Mattson),销售收入为88.96亿元,同比增长53%,比2016年增速提高32个百分点。2017年国产半导体设备在全球的市场占有率为2.5%,在中国大陆的市场占有率为16%。

按照Gartner的统计标准全球主要的集成电路装备企业共58家,国内仅有北方华创,上海中微,盛美半导体和亦庄国投收购的Mattson(并不在电子专用设备协会共统计36家之中)计入统计。这四家公司的主要产品如下表:

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非常巧合的,四家半导体公司,都包含有刻蚀/清洗设备。加上国际上LAM、AMAT、TEL、Hatchi、DNS等公司,在这一领域的竞争非常激烈。刻蚀/清洗设备也将会成为国内半导体设备厂商率先突破的重点领域。

2017年,北方华创、中微、Mattson三家公司都进入了10亿元俱乐部。(只统计了北方华创半导体设备销售部分,占其全部销售收入的53%左右)Mattson实现了16亿元销售,成为国产半导体设备厂商龙头。

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* 2015年,北方微电子3.8亿,七星电子2.7亿

**2014年,北方微电子2.7亿,七星电子2.2亿

二、Mattson Technology

北京屹唐半导体科技有限公司(简称“屹唐半导体”),是一家注册在北京经济技术开发区的半导体设备企业,其英文名称为Beijing E-Town Semiconductor Technology Co., Ltd. (缩略为“BEST”)。 2016年5月,亦庄国投通过屹唐半导体,以约3亿美元的总价,成功收购了总部在硅谷的半导体设备公司Mattson Technology。这是中国资本成功收购国际半导体设备公司的第一个案例。

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Mattson Technology Inc. (简称 “Mattson”) 于1988年在硅谷成立,在硅谷和德国有研发和制造基地。公司主要为全球12英寸晶圆厂客户提供Dry Strip、Dry Etch、RTP、MSA等设备及应用方案。Mattson拥有完整的知识产权,Strip、RTP、MSA设备在各自细分领域都位于世界前三,其主要客户也是位列全球前三的芯片制造厂商,主要竞争对手则是全球最大的半导体设备厂商。2009年Mattson推出ParadigmE系列刻蚀机,现已有100多台刻蚀机台在全球最先进的存储器厂商的量产生产线上运行。Mattson拥有300多项原创和应用专利,工程师团队具有较强及完整技术能力。

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为了更好地服务于中国半导体产业发展,屹唐半导体正全力推进制造、研发、销售在国内的全面落地。公司新的基地位于北京经济技术开发区经海二路28号,建筑面积共4500平米,洁净厂房将于2018年6月完成净化装修,9月底第一台设备将在新厂区完成组装、测试。与此同时,将建成刻蚀机、去胶机、快速退火演示实验室(Demo Lab),更紧密、更高效地为国内客户提供应用开发服务。北京工厂设计共有10个组装测试工位,每年可生产设备100台以上。北京工厂建成后,将面向中国芯片厂客户全面提供“就地制造、就地研发、就地培训、就地支持”等高效服务。

三、高管团队

1、创始人 —Brad S. Mattson

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Brad S. Mattson先后创立了Novellus Systems和Mattson Technology两家半导体设备公司。

1989年Brad S. Mattson成立Mattson Technology公司并担任公司的总裁兼CEO,1995年成功带领公司上市。2001年他从Mattson Technology退休并担任顾问到2003年。现在Mattson是ZOOM公司董事长。

Mattson于1976年获得在州立圣何塞大学的航空科学学士学位。1976 年加入应用材料公司,在应用材料,他曾从事多个技术和市场营销职位,包括刻蚀和CVD部门的产品经理。1981至1983年,他担任马萨诸塞州LFE公司等离子系统部门副总裁。1983年,他成立了Novellus Systems并担任公司总裁兼CEO直到1988年。

Brad S. Mattson是误打误撞进入半导体行业。他本来是要被训练成为航空飞行员的,为凑够飞行时数,先到应用材料公司找了份工作。当时刚大学毕业,没有任何经验,能找到的工作就是修理系统。他在应用材料做现场服务工程师,负责安装和修理系统,同时也在凑飞行时数以成为一名航空飞行员,但后来他再也没能离开半导体行业。

2、总裁兼首席执行官 —陆郝安博士

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陆郝安先生拥有超过20年的半导体产业从业经验,毕业于中国科技大学并获得美国弗吉尼亚大学的固态物理学博士学位。职业生涯涉足技术研发、商业经营和企业管理。陆博士曾任总部位于美国硅谷的SEMI全球副总裁及中国区总裁。

1979-1982 中国科技大学 物理学 本科

1989 美国弗吉尼亚大学 固态物理学博士

1990-1993 美国西北大学和北卡罗来纳州立大学 科学研究员

1994-1997 应用材料公司 高级工艺工程师 / 项目 主管

1997-2003 英特尔 公司 技术制造工程部 团队主管

2003-2007 英特尔 公司 公共事务部总监

2007-2009 英特尔公司 技术制造工程部中国芯片厂项目主管

2009.8-2016 全球副总裁、中国区总裁

2016.10-2018 屹唐半导体、Mattson Technology总裁兼首席执行官

四、产品

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1. Dry Strip

Mattson是干法去胶行业的领导者,采用创新的晶圆处理架构,在保证尽可能快的从晶圆上消除掩膜材料的同时,而不会造成表面材料的损伤。

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2. 等离子刻蚀

采用ICP等离子源,并配备法拉第屏蔽,可提供很高的产能。

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五、机遇的挑战

Mattson作为中资从海外收购的第一家半导体设备企业,在团队和客户的稳定方面都会面临极大的挑战。交割后的第一年,Mattson遇到了一系列挑战:客户因股东属性变更、担心商业机密流失而取消订单,公司业绩大辐下滑。团队因文化差异及对未来的不确定性而产生动荡,主要高管提出辞职。2016年营收由前一年的1.7亿美元下降到1.03亿美元,运营亏损达近3千万美元。公司一度面临现金断流的危险,员工士气低落。

在亦庄国投的大力支持下,以陆郝安博士为CEO的新的管理团队于2016年10月成立。亦庄管委会领导明确提出Mattson要坚持市场化、国际化的发展道路,保持在国际市场的竞争力,同时加快融入高速发展的中国半导体产业。新的管理团队本着“诚心、诚实、透明”的原则,与员工坦诚交流,以实际行动和不断取得的成就证明屹唐半导体/Mattson所坚持的市场化、国际化的发展道路,在中国半导体产业大发展的背景下,将会给企业带来新的活力,团队逐渐稳定下来。主要客户通过诚挚的沟通也赢回了信任,相信Mattson Technology会严格遵循全球所有地区的法律法规,包括严格保护知识产权,业务得到了全面回升。

Mattson的机台进入了全球最先进晶圆代工制造的5nm和7nm生产线,同时在最先进的3D NAND和DRAM存储生产线上取得量产订单。在国内行业领导和客户的热情帮助下,屹唐半导体的设备在国内主要客户十二英寸生产线应用得以全面展开。新的管理团队着力塑造以“公平、道德、责任、透明”为核心的全新企业内部文化,加大对新产品研发的投入,加快现有产品持续改进,积极组织拓展新客户和新应用。2016年底开始,公司业务迅速回升,2017年度营收较前一年增长150%,达2.52亿美元(折合人民币16亿元),净利润为2.05千万美元(人民币1.3亿元),营收和利润都创公司历史新高。经过一年多的努力,公司回到新的发展轨道,屹唐半导体已成为一家充分融入中国半导体产业生态链、同时保持硅谷创新基因和全球竞争力的新型创业公司。

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